200ナノメートルの構造を解像できる高解像度X線イメージング検出器の開発

2019/03/15  国立研究開発法人 理化学研究所 

2019年3月15日

高輝度光科学研究センター
理化学研究所
神島化学工業株式会社

200ナノメートルの構造を解像できる高解像度X線イメージング検出器の開発

-電子デバイスの非破壊検査の実現-

高輝度光科学研究センター(JASRI)計測技術開発チームの亀島敬研究員(理化学研究所 放射光科学研究センター データ処理系開発チーム 客員研究員)、理化学研究所 放射光科学研究センター データ処理系開発チームの初井宇記チームリーダー、および神島化学工業株式会社 セラミックグループ 柳谷高公グループマネージャー、村松克洋チームリーダーらの研究グループは、200ナノメートル(nm,nmは10億分の1メートル)の構造を解像できる高解像度X線イメージング検出器の開発に成功しました。このX線イメージング検出器は世界最高の解像力を有し、これまでにない精細なX線画像を得ることができます。

詳細はSPring-8のホームページをご覧ください。

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理化学研究所 広報室 報道担当
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