半導体製造装置向け薬液濃度モニター、12月11日より販売開始

2019/12/04  株式会社 堀場製作所 

[報道発表] 掲載内容は発表日時点の情報です。

半導体製造装置向け薬液濃度モニター、12月11日より販売開始

2019年12月 4日

株式会社堀場アドバンスドテクノは、洗浄やエッチングなど半導体製造工程で使用される薬液を非接触で測定する薬液濃度モニター「CS‐900」の販売を12月11日より開始します。半導体製造工程において表面処理の均質性を左右する薬液は、厳密な管理が求められています。薬液濃度モニター「CS-900」は、配管内を流れる薬液に触れることなく測定することで、薬液漏れやコンタミネーション(混入)がなく安全で安定した計測結果を得ることができます。初年度150台、2023年までに1,000台以上を販売目標とし、国内外に展開します。
*12月11日から東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2019」に初出展します。

薬液濃度モニター「CS-900」
左から、ディスプレイユニット、センサーユニット

開発の背景

半導体の製造工程における薬液処理は、表面処理の均質性に影響し歩留まりを左右する重要な工程であるため、薬液の厳密な管理が求められています。
従来は、薬液が流れる配管自体に直接センサーユニットを接続、もしくは測定ユニットへ送液するために配管を分岐し薬液濃度を測定する方法が主流でした。しかし、薬液のコンタミネーション、導入時の配管との接続作業の煩雑さや薬液漏れなどが課題となっていました。この度、配管の周辺に被せるだけで設置できるセンサーユニットを開発し、薬液の非接触測定を可能にしました。これにより、薬液漏れとコンタミネーションの発生要因を排除し、安全で安定した測定を実現しました。また配管部を切断せずに設置できるため、導入時の据付けを行う作業時間の短縮と作業負担を軽減することができます。堀場アドバンスドテクノの薬液濃度モニター「CSシリーズ」が持つ世界シェア70%の実績を生かし、更なる販売拡大をめざします。

製品の特長

  • 非接触構造によるコンタミネーションゼロ
    薬液漏れやコンタミネーションを防ぐことで、安全で安定的な測定による歩留まりの向上や薬液使用量の削減に貢献します。
  • LEDによる光源の長寿命化
    LEDの採用により光源部の長寿命化を実現しました。

  • 高温薬液(20℃~80℃)の安定測定を実現
    光学系の一新、及び演算処理の改良により、最先端の薬液処理に必要不可欠な高温の薬液も安定して計測することが可能です。


<標準希望販売価格>
6,000,000円~(税抜)

製品概要

名称

薬液濃度モニター「CS-900」

寸法

ディスプレイユニット 96(W)X135(D)X96(H)mm
センサーユニット 238(W)X140(D)X146(H)mm(突起部除く)

測定原理

吸収分光法

薬液温度

20度~80度

質量

ディスプレイユニット約0.9kg
センサーユニット 約2.9kg

分類

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