荏原実業株式会社（東京都中央区/代表取締役社長執行役員兼COO：吉田 俊範）は、環境に配慮した水銀フリーのオゾンモニタを開発しました。受注開始は、2024年4月を予定しています。
当社はオゾン測定技術のパイオニアとして、オゾンの適正利用に欠かせないオゾンモニタや、様々な条件に合わせて正確な測定ができるよう前処理システムとオゾンモニタを組み合わせたオゾン濃度測定装置の開発・設計・製造・メンテナンスを手掛けています。利用されている分野は多岐に渡りますが、特に上下水道施設の高度処理プロセスや半導体工場の製造プロセスで長年採用いただいており、国内トップシェアを有しています。
今回開発した新製品は、環境に対する社会的な関心の高まりを受けて、UV-LEDを光源に採用し、水銀フリーを実現しています。また、発光特性を補正する技術により、UV-LED光源では難しいとされていた高精度な測定を可能にしており、従来の水銀ランプを使ったオゾンモニタと同等の精度を有しています。
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高精度オゾンモニタ：EG-3100シリーズ
・UV-LED光源を採用し水銀フリー化を実現
・当社独自の発光補正技術により低圧水銀ランプ製品と同等精度を実現
・浄水プロセスのオゾン処理における全てのガス測定ポイントを網羅するラインアップ
・高精度で高分解能なので、研究・開発用途にも適用可能
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インライン型オゾンモニタ：EG-690
・UV-LED光源を採用し水銀フリー化を実現
・当社独自の発光補正技術により低圧水銀ランプ製品と同等精度を実現
・半導体製造プロセスのオゾンガス配管にインラインで設置可能
・装置組込に適したスモールフットプリント
◆荏原実業株式会社の概要
本社：東京都中央区銀座七丁目14番1号
代表者：吉田 俊範
TEL：03-5565-2881
URL：
https://www.ejk.co.jp
事業内容：環境関連機器の製造販売および上下水道施設等のエンジニアリングサービス
