業界最小クラスの照射機サイズを実現した大気圧プラズマ照射ユニット「Lamina 5」の販売を開始
2024.12.10
SEMI規格 510×515mmの大型基板にも対応
ウシオ電機株式会社（本社：東京都、代表取締役社長 朝日 崇文、以下 ウシオ）は、独自電極構造の採用により照射機の大幅な小型化を実現した大気圧プラズマ照射ユニット「Lamina（ラミナ） 5」の販売を、2024年12月から開始いたします。
従来の大気圧プラズマ照射ユニットでは、照射機のサイズが大きいことからスペースの制約上、インライン化が困難でしたが、本製品では、ウシオ独自の電極構造の採用により照射機の大幅な小型化を実現し、従来設置できなかった狭小エリアへの設置を可能としました。
また、この度、Laminaシリーズとして既存のLamina 3A（照射幅 300mm）に、この550mmの照射幅のLamina 5のラインナップが加わったことで、SEMI規格 510×515mmなどの大型基板にも対応可能となりました。
照射部分（右）と電源（左）
これにより、ウシオは、従来より提供してきたエキシマ光照射装置に加え、本製品を含めた大気圧プラズマ照射ユニット「Laminaシリーズ」を展開することで、様々な材料の洗浄・表面処理プロセス向けに対応していきます。
なお、本製品は12月11日～13日まで東京ビッグサイトで開催される「Semicon Japan 2024（ブースNo.5627）」で実機とパネル展示をします。
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特長
既存ライン/狭小エリアへの追加設置が可能 ・独自電極構造によりスリム化/コンパクト化
・従来設置できなかった狭小エリアへの設置可能
省ユーティリティによる簡単設置 ・水冷レス（プロセスガスによる空冷）
・AC給電、ガス、排気のみ接続で使用可能
電力あたりの処理効率を追求 ・～50%程度の電力投入（他社比較）で処理
・低温処理による熱ダメージ抑制
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サイズ/重量
| 製品名 |
Lamina 5 |
| 【照射部】 |
【電源部】 |
| 幅 (mm)* |
650 |
448 |
| 奥行 (mm)* |
53 |
700 |
| 高さ (mm)* |
77.2 |
199.6 |
| 重量 (kg) |
約6 |
約24 |
*突起部含まず
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